更新時間:2024-11-09
非接觸厚度電阻率測試儀型號:JXNRT1 測試原理 1、 原理 電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器,以及后續的處理電路組成。將半導體硅片置于兩個探頭的間隙中時,在電磁場的作用下,半導體硅片中會產生渦流效應,通過檢測渦流效應的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。
非接觸厚度電阻率測試儀 型號:JXNRT1 
一、測試原理 
1、 原理 
電阻率測試模塊是由一對共軸渦流傳感器,以及后續的處理電路組成。將半導體硅片置于兩個探頭的間隙中時,在電磁場的作用下,半導體硅片中會產生渦流效應,通過檢測渦流效應的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。 
非接觸厚度電阻率測試儀 2、厚度測試探頭原理 
厚度探頭采用的是一對共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復性好,測試數值穩定,技術成熟等優點,廣泛用于各種材料厚度的測試。 
  
二、范圍 
本設備為非接觸無損測量設備,測試過程中對硅片表面以及內部不會造成損傷。特別于代替四探針法用于半導體硅片成品分選檢驗。一臺儀器可以同時對厚度和電阻率兩個指標進行測試分選,減少了測試工序和測試時間,提高了測試效率。 
典型的客戶:科研單位、硅片生產廠商、半導體器件生產廠商、光伏企業、導電薄膜生產企業。 
三、儀器構成 
1、測試主機:1 臺 
2、電源線:1 根 
3、串口數據線:1 根 
4、電腦端軟件:1 套 
5、塑料定位柱:2 個 
四、儀器外觀尺寸結構及圖片 
1、整機尺寸:340*260*180mm 
2、機箱顏色:電腦白 
3、儀器結構:本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。 
五、儀器主要指標 
1、電氣規格 
a. 使用標準三插頭,由 220V 交流電供電,整機功耗小于 15 瓦。 
b. 本儀器測試平臺和外殼均為金屬材料,按照安全規范,請確保電源地線正確連接。 
2、測試范圍 
測試樣品要求:厚度小于 600um 的半導體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制,厚度大的測試范圍可以擴展到 800um) 
電阻率范圍: L 檔: 0.2-5 Ω·cm 
H 檔: 5-50 Ω·cm 
注: 電阻率不在上述量程范圍內的可以按要求調整, 調整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。 
厚度范圍: 100-600 um (定制版可以做到 300-800um) 注:普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區域。
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 化工原料水分儀 化工原料水份儀   型號: FD-C1   | 
